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产业气体沈阳液态气体在医疗、保健方面的利用

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产业气体沈阳液态气体在医疗、保健方面的利用

宣布日期:2016-08-24 作者: 点击:

(1)沈阳液态气体易燃性气体 

把自燃、易燃、可燃气体等都界说为这类气体。如常温下的SiH4气体只需与氛围打仗就会熄灭,当情况温度到达必然时,PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃易燃气体都有必然的着火熄灭爆炸规模,即上限、上限值。此规模越大的气体起爆炸熄灭风险性就越高,如B 2H6的爆炸上限为98%,爆炸上限为0.9%。属于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

(2)毒性气体(Toxic Gas):半导体系体例造行业中利用的气体良多都是对人体无害、有毒的。此中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性最大,它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)别离只需50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在任务情况中的许可浓度极微,是以在贮存、保送和利用的进程中都请求出格的谨慎。普通都应当接纳特定的手艺办法来节制利用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。

(3)侵蚀性气体(Corrosive Gas):这些侵蚀性气体凡是同时也兼有较强的毒性。侵蚀性气体在枯燥状况下普通不易侵蚀金属,但在碰到水的情况下就显现出很强的侵蚀性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。

(4)惰性气体(Inert Gas): 隋性气体自身普通不会间接对人体产生风险,在气体传输进程中,绝对宁静上的请求不如以上其余气体严酷。但惰性气体具备梗塞特征,在密闭空间若产生泄露会令人梗塞而形成工伤变乱。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

(5)氧化性气体(Oxide Gas):这类气体有较强的氧化性,普通同时具备其余特征,如毒性或侵蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。

不锈钢制管件是用来传输各类制程气体的首要管件,出格是传输一些剧毒易燃易爆的风险性气体。以是不锈钢制管件的建造和施工请求在以上几种差别材质的管件中最为严酷,普通对P级请求(×10 -9级)制程气体的保送,均请求接纳SUS316材质的EP (Electronic Polishing)管材,对普通非制程气体的保送接纳SUS316材质的BA (Bright Anneal)管材。SUS316作为一种低含碳量的不锈钢资料,它不只具备抗侵蚀性好的长处,并且对凹洞的抵当性也很好。由于BA管的建造是颠末了消融、压延(Hot/Cold Rolling)、溶接(Welding)、热处置(Hot treatment)、研磨(Polishing)等庞杂进程,其外表粗拙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除外表研磨等进程外,再加以电解研磨及紧密洗净手艺,其Rmax≦0.7mm[3] 。

气体管件在装配时,施工准绳是应尽能够地以延续式且无接口的体例停止,如许能够削减利用讨论的数目,下降潜伏的气体泄露风险。管件与管件间的毗连最好以轨道式焊接法(Orbital Welding)来接合,对不锈钢的焊接要接纳氩弧焊,并向施焊管内通入划一纯度的氩气,如许能够确保毗连的品德,并防止管件内壁因不妥的焊接而堆积碳,从而形成气体管件的净化。管件与各类配件之间的毗连必须以金属面临金属面密封(Metal to metal face seal)的体例停止。普通晶圆厂比拟经常利用的气体管路毗连的讨论体例有VCR 和Swagelok两种,详细选用情势应根据出产工艺对高纯度气体的用气请求和蔼体自身特征停止挑选。普通情况下,VCR式的讨论首要用在制程气体和风险气体的传输上,管路毗连后讨论外面的垫圈(Gasket)将会过分变形以确保存路每秒低于10 -9cc的氦气泄露率(Leakage Rate)[4]。不过在接应时要防止因拴得太紧而致使不锈钢垫圈过分变形形成接合不良或气体外泄。Swagelok 讨论凡是用在惰性气体、氮气和CDA等气体的传输上,由于这些气体能够允许必然的外泄率,以是不经常利用本钱较高且须焊接的VCR式讨论。总的来说,管件的装配准绳是应尽能够削减管件的长度、讨论和阀件的数目,由于大大都的风险气体的泄露都产生在施工不妥的讨论和阀件接合处。

风险气体的出格事变 

作为半导体晶圆代工场气体的利用者,每位任务职员都应当在利用前对各类风险气体的宁静数据加以领会,并且应当晓得若何应答这些气体外泄时的告急处置法式。 普通来说,咱们将有三重保证来提防万一成心外产生的风险气体外泄进入到任务情况中。一个是特种气体的气瓶和全数颠末正负压测漏的气体保送管路;第二个是延续不时的排气抽风体系(Exhaust),管路节点如气瓶柜、VMB、任务台等均具备很强排气抽风体系,以确保每管路节点核心都处于负压情况。若产生微量的有毒气体的泄露,排气抽风体系将第临时间抽出;别的一个很主要的是处于抽风口或情况点的毒性气体侦测器体系,若产生任何有毒气体的泄露将会被气体侦测体系所侦测到,这个节制体系将根据气体外泄对人体风险的巨细来肯定全部气体保送体系的相干互锁举措,严峻时告急封闭下游一切气源,同时会驱动中心节制室和现场的相干报警体系LAU,乃至会驱动全厂的主动语音播送体系告诉当即分散,请求相干职员敏捷撤退报警地区。是以只需工程手艺职员严酷根据所拟定的规范功课法式操纵,一切这些宁静装配都将确保职员不会有宁静上的挂念。沈阳液态气体

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